老化测试(Burn-in)是在高温高压条件下加速芯片老化,筛出早期失效品。其理论基础是"浴盆曲线"——产品失效率在寿命初期高,然后降低,到寿命末期再次升高。Burn-in的目标是"熬过"初期高失效段。
Burn-in的分类
静态老化(Static Burn-in):
- 给芯片加电源和固定偏置,不运行功能向量
- 条件:125-150°C,最大工作电压×1.2,24-168小时
- 适用:数字芯片的早期筛选
动态老化(Dynamic Burn-in):
- 加电源的同时运行功能测试向量
- 条件:125-150°C,最大工作电压×1.2,24-168小时
- 优势:比静态老化更接近实际工作状态,筛选效果更好
监控老化(Monitor Burn-in):
- 老化过程中实时监控芯片输出,记录失效时间
- 优势:不仅知道"坏了",还知道"什么时候坏的",为失效分析提供线索
Burn-in的关键参数
温度:越高加速效果越好,但不能超过芯片最高结温。通常用125°C。
电压:过压加速电迁移和栅氧退化。通常用1.2×VDD,但不超过工艺允许的最大电压。
时间:时间越长筛选越彻底,但成本越高。消费级24-48小时,车规级168小时,军工级240小时。
Burn-in Board与Burn-in Oven
Burn-in Board(老化板):
- 每块板可放数十到数百颗芯片
- 需要承受125-150°C长期工作
- 材料用高Tg FR-4或聚酰亚胺
- Socket需要耐高温、耐插拔(>10000次)
Burn-in Oven(老化炉):
- 温度均匀性±2°C
- 支持多温区独立控制
- 电气隔离,防止测试板短路互相影响
中科芯火的老化测试能力
中科芯火中试线配备高温老化炉和老化板设计能力,提供:
- - 静态/动态老化测试
- 老化条件优化(温度/电压/时间)
- 老化后失效分析
- 老化测试报告(含Arrhenius加速模型推算)
实际案例:某车规MCU客户要求168小时动态老化,初期老化失效率2.3%(目标<0.5%)。中科芯火通过分析老化失效品,发现是某批次晶圆的栅氧厚度偏差导致。反馈给晶圆厂后,老化失效率降到0.2%。
常见问题
Q:Burn-in能筛出所有早期失效吗?
A:不能100%筛出。Burn-in的筛选效果取决于加速条件是否有效激活失效机理。不同失效机理的激活能不同,需要针对性调整条件。
Q:Burn-in会缩短芯片寿命吗?
A:会消耗一部分寿命。但通过合理的条件设计,消耗比例可控(通常<5%)。对于高可靠性要求的场景(车规、军工),这个代价是值得的。
